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产品描述
参数
特征
- 高速长行程12”标准机型
- 光栅设计提升安全性，智慧厂房最佳选择
- 符合国际半导体设备SEMI S2安全规范
- 符合RoHS规范，洁净度最高可达ISO Class 1
- 多种感测器侦测各项元件，即时监测设备状态
- GUI介面软体，可远端操作指令，整合各装置子系统，提供单一指令格式窗口
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发布时间：2020-10-28 19:53:29
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