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产品描述
参数
特征
- 8" , 12" 标准机型
- 隐藏式电控箱、寻边器设计,衔接窗口最大化
- 通过国际半导体设备SEMI S2安全认证
- 符合RoHS规范,洁净度最高可达ISO Class 1
- 多种传感器侦测各项组件,实时监测设备状态
- 提供客制化晶圆或其他基板搬运需求
- 自动压力控制系统,透过环境压力变化,调节风扇转速保持设定值


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发布时间:2020-10-28 19:53:29
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